أنظمة تقنية تنقية الهواء

وفقًا للطريقة المختلفة لتزويد الهواء ، يمكن تقسيم تقنية التنقية إلى نظام تدفق مضطرب ونظام تدفق رقائقي.(1) نظام الاضطراب (طريقة متعددة الاتجاهات): مدخل نظام التدفق المضطرب ومرشح عالي الكفاءةفي السقف ، جانب الهواء العائد للفم في الجزء السفلي أو الجدار الجانبي ، تكون المرشحات ومعالجة الهواء أبسط ، والتوسع في الراحة ، والتكلفة منخفضة ، لكن الهواء يتغير قليلاً ، وعمومًا 10 ~ 50 مرة / ساعة ، سهل الإنتاج تيار الدوامة ، قد تكون جزيئات التلوث في تدفق حلقة التعليق الدوامة الداخلية ،تلوث الهواء، تقليل درجة تنقية الأماكن المغلقة.ينطبق فقط على غرفة تنقية فئة 10000 إلى 10000000 من وكالة ناسا القياسية.(2) نظام التدفق اللاميني ؛نظام التدفق الرقائقي يأخذ الجزيئات والغبار من غرفة العمليات من خلال مخرج الهواء العائد بتوزيع موحد ومعدل تدفق مناسب.لا يوجد تيار دائري ، لذلك لا يوجد غبار طافي.الزيادة درجة التنقيةمع زيادة أوقات تغيير الهواء ، وهي مناسبة لغرفة العمليات ذات الـ 100 مستوى وفقًا لمعيار ناسا.لكن المنقيمعدل تلف الختم كبير نسبيًا ، والتكلفة أعلى.